Tente colocar um sleep depois do if fileExists('c:\ACBrNFeMonitor\sainfe.TXT') then para evitar q ao mesmo tempo em q o monitor está gravando o arquivo vc tente abrí-lo.
Ou pode ser alguma coisa na sua aplicação que está prendendo o arquivo. Qdo der este erro, com seu programa ainda aberto tente excluir o arquivo SAINFE.TXT pelo Windows Explorer e veja se o erro tbm ocorre. Se ocorrer, finalize sua aplicação e tente novamente apagar o arquivo SAINFE.TXT pelo Windows Explorer. Se vc conseguir excluir era sua aplicação q estava segurando o arquivo, se ainda acontecer o erro pode ser algum problema no ACBrNFeMonitor.